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芯明天P15系列XYZ压电纳米定位台是用于超分辨率显微镜应用的多轴定位台,通过闭环控制,可以实现亚纳米级的高精度运动,在XYZ平面上的行程范围可达300微米。
P15内部采用有限元分析(FEA)优化的线切割挠曲铰链结构。FEA使其设计具有尽可能高的刚度,并使线性和角度跳动最小化。闭环版本采用高精度的传感反馈,与E70系列闭环控制器配套使用,具有非常高的稳定性。台体中心66×66mm大通孔,非常适合显微成像、微操作等应用。
特点
XYZ三维运动
行程范围:300μm/轴
无摩擦、高精度挠性导向系统
扫描平整度高
通孔尺寸:66×66mm
闭环阶跃时间:60ms
闭环分辨率:13nm
承载能力:0.5kg
带载阶跃时间
闭环上升曲线,满行程阶跃时间60ms。
闭环压电控制器
E70.D3S压电控制器采用专用运放电路保证了高压大电流的输出能力,通过优化传感伺服模块从而提高了PI调节与控制的精准度与稳定性,可靠的抗干扰设计保证了控制器的高频响应速度。
技术参数
功能:数字与模拟集成式控制器
通道数:3
模拟输入:0~10V
输出电压:0~120/150V
平均电流:70mA
带宽:10kHz
传感器类型:SGS
伺服特性:P.I+低通+陷波
通信接口:RS-232/422、USB
工作温度: 0~50℃
尺 寸:168.5×134×45.5mm
重 量:1.2kg
供电电压:24V DC1.5A(36W)